플라즈마 질화
플라즈마 질화법
0.1-10Pa의 질소혼합 가스 분위기 중에서 로체를 양극, 피처리물을 음극으로 하여 수백 Volte의 직류전압을 인가하면, 글로우 방전을 일으키고 네온사인을 닮은부드러운 빛이 피처리물을 감쌉니다.
이때, 이온화된 가스 성분은 고속으로 가속되어, 피처리물 표면에 표면에 충둘, 피처리물을 가열합니다. 동시에 스퍼터링 작용 등에 의해 질화가 진행됩니다.
이와같이, 플라즈마 질화법은 암모니아 분해가스나 시안화화합물을 이용한 종래의 질화법과는 전혀 다른 획기적인 처리법으로서 현재 자동차부품을 시작으로 각종 기계부품, 정밀부품, 사출성형기부품, 각종 금형 등에 이용이 높아지고 있습니다.
플라즈마 질화법은 1932년 독일에서 B.Berqhaus에 의해 발명되어 1967년경부터 독일 및 스위스에서 기업화되기 시작했습니다.당사에서는 신시대의 열처리로서 이온질화법에 재빨리 주목, 독자적인 연구개발을 행하여 1972년 제 1호기를 완성, 일본에서 처음으로 이온질화 장치의 제조 및 수탁가공을 개시하였습니다.
현재 장치 판매 대수는 해외를 포함하여 Top Maker로서의 실적을 거두어 JIN시리즈는 안정된 성능과 높은 신뢰성, 편리한사용 등의 점으로 높은 평가를 얻고 있습니다.
또 처리기술 등에 관해서도독자적으로 개발한 처리법과 풍부한 기술 Data에 근거하여 여러분들에게 지도 및 어드바이스를 하고 있습니다. 게다가 메인트넌스 등의After-Service에 대해서도 만전의 체제를 정돈하여 유저의 요망에 응답하고 있습니다.
JIN-3SC형 플라즈마 질화장치는 중간규모의 생산 장치로서 많은 유저에게 이용되고 있습니다. 클린/에너지 절약을 시작으로 한 플라즈마 질화 장치가 뛰어난 특징을 보다 유용한 기능을 위해 컴퓨터에 의한 완전 자동제어 기구를 새롭게 채용한 기종을 준비했습니다. 오퍼레이터가 모니터 화면을 통해, 여러가지의 조건 등의 설정이나 처리중의 운전 상황을 정확하게 파악하는것이 가능하기 때문에, 종래 기계보다 더 간단한 조작으로 보다 고도의 플라즈마 질화 처리를 할수 있게 되었습니다.
또, 미리 복수의 처리 데이터를 디스크에 보존해 두어, 필요에 따라서 그중에서 처리 조건을 자유롭게 꺼내 처리를 할수가 있습니다.
게다가 JIN-3S, 10S형 플라즈마 질화 장치에는 새로운 방식의 펄스전원을 옵션 설정으로 두어 플라스틱 금형/정밀 기계 부품등의 플라즈마 질화 처리를 용이하게 하고 있습니다.
플라즈마 질화법의 특징
– 화학반응 작용에 의하지 않고, 이온화된 질소가스에 의한 질화처리 때문에, 공해대책 등의 특별한 설비의 필요가 없게 작업환경은 지극히 양호
– 이온화된 가스의 스퍼터링 작용을 이용하기 때문에 종래의 질화처리와 비교해 처리시간을 현저하게 단축
– 글로우 방전에 의해 직접 가열을 하기 때문에 특별히 가열,보온설비는 필요로 하지않고 균일한 온도분포를 얻을수 있음
– 가열효율은 히터 가열방식에 비해 2배 이상 향상되어 에너지 절약기여
– 가스 소비는 극히 적고,running cost의 저감화를 도모
– 질화처리는 380 C부터 가능합니다. 또 Ti등의 처리에서는, 850 C정도의 고온처리를 하는것도 가능
– 진공중에서의 처리이기때문에 처리후의 표면은 무산화 상태로 얻을수 있고, 표면조도의 저하도 매우 작음. 특히 저온처리이기 때문에 불량은 극히 적고, 후가공도 필요로 하지 않으며 마무리품의 처리에 최적
– 수소,질소,혼합가스 각각의 가스비를 조절하는 것으로 화합물층의 조성을 자유롭게 조정할 수가 있어, 목적에 맞는 기계적 성질을 얻을수 있음